ＩＣ关键设备通过评审验收 [复制链接]

第2版(经济)
专栏：

　　ＩＣ关键设备通过评审验收
本报讯“八五”国家重点攻关项目、用于一微米线宽集成电路生产ＲＩＥ、ＰＥＣＶＤ、ＬＰＣＶＤ和用于三微米的ＲＩＥ、扩散炉系统及四探针测试仪等ＩＣ关键设备，最近由北京建中机器厂研制成功并通过由电子工业部主持的专家评审、验收。（马泽文）