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十二英寸直拉硅单晶研制成功 [复制链接]

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只看楼主 倒序阅读 0 发表于: 1997-10-05
第5版(教育·科技·文化)
专栏:

  十二英寸直拉硅单晶研制成功
本报讯记者贾西平报道:我国第一根直径12英寸直拉硅单晶日前由北京有色金属研究总院研制成功,使中国成为继美国、日本、德国后具有拉制大直径硅单晶技术的国家。
该硅单晶等径长度400毫米,重81公斤,是制造尖端集成电路芯片——256兆位至1000兆位存储器电路和各种深亚微米集成电路的衬底材料,目前国际上尚处于起步阶段。
据北京有色金属研究总院负责人介绍,目前,直径8英寸硅抛光片生产线正在北京加紧建设,预计于明年投产,产品可用于生产0.35微米到0.5微米集成电路。
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