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超高精度上的突破——国产纳米级光电测长仪研制小记 [复制链接]

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只看楼主 倒序阅读 0 发表于: 1997-05-04
第5版(教育·科技·文化)
专栏:

  超高精度上的突破
——国产纳米级光电测长仪研制小记
杨光曦
“我国率先在国际上将光栅测量技术提高到亚纳米量级,特别是在分辨率、精度、最大量程和分辨率的比值等主要技术指标方面达到国际领先水平。”这是3月27日,王大珩、雷天觉、徐性初、周勤之四位院士及专家在“纳米级光电综合测长仪鉴定会”上所做的评价,它标志着我国成功地发展了纳米测量技术。
用光栅测量纳米是我国科学工作者40多年的梦想与追求。承担这一研究课题的北京光电量仪研究中心在前人基础上不断探索创新,取得巨大成功。测量范围达到100毫米,测量分辨率达到0.1纳米,大约相当于一根头发丝粗细的一百万分之一。同时,该中心人员不满足于仅仅把科研成果用于各种科技评比,而是面向市场,逐步开发实用技术产品,尽可能快地将最新成果转化为生产力。
以光电理论为指导,科研人员将光学、机械、电子、计算机、化学融为一体,反复实验,研制精度高、范围大的光电量仪核心——光电传感器。其中困难很多,在粘接超精导轨时,科研人员发现由于贴胶的物理性原因,导轨在微观上弯曲了大约百分之几微米,这在超高精度上是绝对不允许的,必须拆除重做。加热?破坏导轨,贴胶专家拿不出更好的办法。琢磨了几天,他们想到胶是酸性物质,用碱液浸泡,几分钟就解决了难题。
光电传感器研制后还要根据厂家要求,做成各种专用产品,才能为生产服务。要求的精度近乎苛刻,一些搞了一辈子精密仪器的老师傅也曾认为“绝对做不到。”可他们和科研人员一道千方百计想办法,施展“绝招”,最终达到精度要求。
如今,他们已开发出十几个系列近百种产品,包括长度、角度、轴径、孔径等很多方面。年人均产值10万元,形成科研——产品——科研的良性循环。
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