国内最大直径单晶炉研制成功 [复制链接]

第1版(要闻)
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　　国内最大直径单晶炉研制成功
本报讯由西安理工大学晶体生产设备研究所研制、生产的国内最大的单晶炉——ＴＤＲ—８０单晶炉，９月１０日在西安通过鉴定。这一生产直径２００毫米的大直径单晶硅生产设备的研制成功，结束了我国同类产品依靠进口的历史。
在这之前，我国２０厘米以上长直径单晶硅一直用进口单晶炉，为了改变我国大直径单晶硅依靠进口的状况，从去年３月起，西安理工大学晶体生产设备研究所，经过一年多的奋战，于今年６月制造出两台样机并成功地拉出２００毫米的大直径单晶硅。（孟西安聂尔葆）