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我国制成LT—1型扫描式离子探针质谱微分析仪 [复制链接]

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只看楼主 倒序阅读 0 发表于: 1978-03-17
第4版()
专栏:

我国制成LT—1型扫描式离子探针质谱微分析仪
据新华社北京三月十四日电 中国科学院科学仪器厂在有关单位的协作下,自行设计并研制成功了我国第一台LT—1型扫描式离子探针质谱微分析仪,填补了我国质谱仪器的一项空白,为我国赶超世界科学技术先进水平作出了贡献。
离子探针质谱微分析仪是国际上近十年才发展起来的一种大型精密科学仪器。它主要应用于表面微区薄层分析,是半导体集成电路、固体物理、表面科学、材料科学、环境科学、地球和空间科学、生物学等研究中的一种重要分析工具。它的灵敏度很高,可测量含量为百分之几到十万万分之几的杂质;可测量包括H到U的所有元素、同位素丰度;可测量分辨率高达几十个埃的深度分布。
最近,中国科学院经过测试鉴定认为,这台仪器的性能良好,主要技术指标已达到国外同类仪器的先进水平,可以投入生产。
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