攀登半导体科学高峰的人 [复制链接]

第4版()
专栏：

攀登半导体科学高峰的人
本报记者 柏生
中国科学院半导体研究所从一九六○年成立以来，从无到有，从小到大，在我国现代化建设中发挥了重要的作用。半导体是一门新兴的科学技术，我国开始研究是在五十年代初期。一九五六年，在周总理的直接关怀下，制订了我国《十二年科学技术长远发展规划》，把它作为一项紧迫任务安排，迅速发展起来。今天，它已发展成为一个包括半导体材料、集成电路、微波器件、激光器件、新工艺技术、仪器设备、物理化学测试分析、半导体物理以及集成电路中间试验等方面的半导体综合性研究所，培养了一支庞大的半导体科学技术队伍，取得了不少出色的科研成果。
新来的所长
一到半导体研究所，人们就给我谈起了新所长黄昆的故事。
那是一九七七年冬天。一天清早，一个身着褪了色的蓝布制服，帽沿下露出几缕银发的老人，骑着一辆自行车，来到中国科学院半导体研究所的大门口。传达室的同志问：
“喂，老头儿，你找谁？”
“来上班的，新来，还没领工作证呢！”老人支好自行车笑着回答说。
“你是……”
“我叫黄昆。”
“啊！是新来的所长！”
黄昆点点头笑了。
在党委领导下，黄昆同志和所里其他领导同志一起，组成了一个强有力的业务领导班子。黄昆同志坚持和他们同室办公，遇事大家一起商量，形成一个团结一致的集体领导。
黄昆十分重视加强所里的学术活动。他经常强调这是一个研究所最基本的活动。不把学术活动抓好，学术成果就没有落脚点。为了活跃研究所的学术气氛，所里很快建立起学术委员会，把一个门厅改建成报告厅，全所经常在这里举行学术报告会。在黄昆的主持下，还把所内这两年的七十九篇论文汇编成册，将用中、英两种文字出版。
对研究人才的培养，黄昆十分重视。他虽然工作忙，但总是坚持每星期给所里中、青年科研人员讲一次半导体物理课，并亲自挑选出国学习人员，亲自和国外半导体专业水平高的研究所和大学进行联系。
凡是到过他家去的同志，都为他简朴的生活所感动。屋里除了满处都堆放着书籍外，只有一些用旧了的简单家具。他说：“作为一个科学工作者，我认为最大的幸福是为祖国取得科研成果，而没有必要去追求个人生活的享受。”他回国以来，都是骑自行车上下班。到所一段时间后，领导考虑他年已六旬，怕骑车出事，经一再说服，他才同意用车接他和所内几位领导一起上下班。但凡是私事，或路途较近，他仍乘公共汽车或骑自行车。他觉得自己是个共产党员，在国家还比较困难的时期，一定要和党、和人民同甘共苦。
黄昆是国内外著名的物理学家。他早年在英国留学时，就曾和著名物理学家博恩教授一起发表过有名的《晶格动力学》著作，显示了才华。他早年在国外发表了二十多篇学术论文，其中有关晶格振动的理论已发展成为当代国际上的重要研究课题。一九五一年回国后，他主要从事教育工作，培养了一批批的半导体物理人才，并写了多部著作。他和复旦大学谢希德教授合著的《半导体物理学》一书，至今仍为高等院校半导体专业的重要教材。最近，他在繁忙的领导工作中，又写出了一篇题为《与晶格弛豫相联系的多声子跃迁》的学术论文。这篇论文在今年夏季意大利举行的一次国际物理学术报告会上宣读后，受到了与会者的一致赞扬。
王家两兄弟
来半导体研究所访问的人，都知道这个所里有王家两兄弟。哥哥王守武自一九五○年从美国回国后，一直从事半导体研究工作，现任半导体研究所副所长；弟弟王守觉也是研究员，现任新器件、新电路研究室主任。两兄弟在为发展我国半导体科学技术事业上都做出了重要贡献。
前年十月，党和国家领导同志接见全国自然科学学科规划会议代表时，华主席、邓副主席向半导体科学工作者提出，要尽速把我国大规模集成电路搞上去。王守武深知要完成这一任务，真正改变我国电子工业的落后面貌，满足国家对大规模集成电路的迫切需要，只在实验室里做出几个样品是不行的，必须把集成电路的成品率提高。他在前段工作的基础上，接受全面负责抓所内MOS4096位大规模集成电路存贮器的研制任务。在近一年的时间里，除开会、外事活动外，他始终坚守在科研第一线。他说，要提高成品率，没有严格的操作规程和稳定的工艺，没有稳定可靠的工艺设备是不可能的、而在我国目前的条件下，要做到这一点是比较困难的。但是，只要我们不回避问题，认真地一个一个解决问题，坚持按科学规律办事，扎扎实实地搞，上述目标是一定能达到的。
超净线是研制大规模集成电路的一条关键的工艺线。王守武在抓大规模集成电路的工作中，每天都是早来晚走，经常在超净线内一呆就是几小时甚至十几个小时。他仔细检查了超净线各道工序，要求线内四十道工序的技术负责人，都详细订出各自的工艺操作规程，然后再订出全线的操作规章制度。要求实验操作严格按规章办事，每次实验要有记录。在王守武同志严谨的科学作风带动下，超净线里的风气焕然一新，科研人员各守其职，严格把关，工人认真操作，一丝不苟，使研制工作取得了可喜的进展。
王守觉具有敢想敢干、富于创新的精神。他认为，我国的科研工作，既要尽量吸收和学习国外的先进技术，又不能局限在国外已经发展的范围里，必须在总结国际先进经验基础上，创出自己的路。最近，他在研究一种我国自己独创的新型结构的多元逻辑电路中获得成功。这种电路具有速度快、功耗少、集成密度高的优点。将它用于计算机中，可使运算速度提高，而结构大大简化。所需工艺条件比较简单，制备容易，成本低，成品率较高，适于工厂推广生产。为了研究这种创新的电路和验证这种新型结构电路的实用性，他和小组的同志不知花费了多少心血。这一新型电路研制成功，是对组成电子计算机的最基本单元的一次重要改革，将有利于降低中型计算机的生产成本，为普及和大量生产计算机提供了探索的新途径。通过一年多的努力，这种新型结构的集成电路，已经成功地用来装成一台实验性计算机样机。
和单晶结缘
一九五七年从美国归来的我国半导体物理学家林兰英，现任研究所副所长，负责所内部分科研组织管理工作。
这位一直独身自守的女科学家，却和单晶体结下了良缘。她长期专心从事单晶体的研究工作。她早年在美国学数学，后来转学固体物理。她看到这门新兴科学在美国的蓬勃发展和广泛应用，因而爱上了它。林兰英从美国宾州大学固体物理系毕业后，曾在美国一家著名的研究半导体的专业公司任高级工程师。一年以后，她怀着满腔热情，回到祖国的怀抱。因为她熟悉美国的单晶材料的研究，回国后，正赶上我国十二年科学规划刚刚制订，祖国需要迅速发展半导体科学，她大有用武之地。她带领一批研究人员，在我国单晶材料的研究上做出了贡献。
在六十年代，林兰英的研究重点从锗、硅发展到砷化镓。虽然文化大革命期间，她被迫离开了实验室，离开了她心爱的半导体研究工作。但是，几年后，她又以不减当年的锐气，回到了实验室，继续和大家一起研究砷化镓的课题。一九七八年初，在她的直接指导下，终于制成了低位错密度的砷化镓材料和磷化镓单晶，为我国的半导体材料研究又填补了两项空白。
但是，单晶硅材料一直不过关，制成的器件性能不稳定。林兰英不仅和研究人员一起研究解决，还深入到工人中倾听改进单晶技术的意见。最近，她配合王守武同志进行大规模集成电路的研制，把几个研究室的有关研究人员组织在一起，重新建立了一个小组，研究提高硅单晶质量。她在学术上积极指导，组织各种学术交流。现在，研究解决无旋涡缺陷的工艺有了初步的进展。（附图片）
王宁觉等科学工作者研制成功我国独创的多元逻辑电路，用这种电路组装的多元逻辑DYL1300微型计算机只有九英寸电视机大，但每秒钟却能运算五十万次。
新华社记者 杨武敏摄