大规模集成电路专用设备研制成功 [复制链接]

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专栏：

大规模集成电路专用设备研制成功
甘肃平凉半导体专用设备研究所最近研制成功七种具有先进水平的大规模集成电路整机设备和配套设备，并且取得一项科研技术成果。十一月下旬，这批设备在四机部主持下通过了定型鉴定，移交给有关生产和科研单位进行批量生产和推广使用。至此，我国大规模集成电路七十五毫米圆片自动工艺线所需要的关键设备已基本成龙配套。
这个研究所自一九七○年开始从事半导体集成电路专用设备的研制工作以来，已陆续研制成功各种专用设备二十九种。他们这次研制成功的七种整机和配套设备是图形发生器、图形数字化仪、立式内圆切片机、半自动光刻机、自动多探针测试台、精缩镜头、分离现场显微镜。另外，还有一项科研技术成果：多点光源曝光系统。有关专家认为，这些设备具有精密度高、性能稳定可靠和造型美观等优点。
（据新华社）