用于生产大规模集成电路的关键基础材料 超微粒干版在天津研制成功 [复制链接]

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用于生产大规模集成电路的关键基础材料
超微粒干版在天津研制成功
本报讯　通讯员杨军、记者窦合义报道：用于生产大规模集成电路的超微粒干版，已经由天津感光胶片厂研制成功。8月29日至9月1日，轻工业部、第四机械工业部在天津联合召开会议，对这项成果进行了技术鉴定，认为该厂研制的超微粒干版，经过不断改进和提高，其主要技术指标已达到或接近国外同类产品的水平，基本上可在大规模集成电路上应用。
集成电路是发展现代化电子技术的基础产品。目前，它已经在许多国家广泛应用于工农业生产、军事、科研和人民生活等各个领域。而超微粒干版又是研制集成电路，特别是大规模集成电路的关键基础材料。可以说，没有超微粒干版，就不能生产大规模集成电路。因此，国家科委、计委把它列为国家重点科研项目。1967年，天津感光胶片厂根据轻工业部下达的任务，在全国有关科研、生产使用单位和大专院校的协助下，开始研制超微粒干版，1968年研制出样品。自1969年迄今，历年向应用单位提供小批量样品。在此期间，天津感光胶片厂通过对简陋的干版车间多次进行技术改造，改进了乳剂配方和研制工艺，加强了净化措施，建立了超净化试验室，进行了各种工艺试验。今年5月以来，他们又陆续向用户提供了几批新的超微粒干版。经天津、北京、上海、石家庄等二十多个单位的测试和试用，认为这几批超微粒干版基本上适用于生产大规模集成电路。