我第一台低能双离子束外延机诞生 [复制链接]

第3版(科教·文化·体育)
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　　我第一台低能双离子束外延机诞生
本报讯　经过八年联合攻关，我国第一台低能双离子束外延实验机研制成功。正式投入使用。
早在一九七九年，我国著名半导体材料专家林兰英教授，在考察了国外发展动向之后，就提出了研制双低能离子束外延机的独特构想。由于国际上这项技术尚处于研究阶段，无商品出售。因此，一九八○年起，由中科院半导体研究所、核工业部原子能科学研究院及电子工业部四五○三厂、七○八厂等四个单位，发挥各家所长，联合攻关。终于在最近通过验收鉴定。
有关专家指出，在当今各类薄膜生长技术中，离子束外延技术是一项崭新的高技术。这种双离子束的外延机，在国际上尚未见到过报道，是一大胆创新。这一实验机的研制成功，提供了一个省力工具，可以期望它在研制新型薄膜材料，在发展材料科学等方面，发挥越来越大的作用。