多晶硅生产新工艺增产节电 [复制链接]

第3版(科教·文化·体育)
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　　多晶硅生产新工艺增产节电
本报上海电　记者萧关根报道：多对硅棒串联后一次击穿的多晶硅生产新工艺，由上海大学、上海第二冶炼厂研究成功，前不久通过市级鉴定。
专家们认为，该新工艺属国内首创。
采用三氯氢硅或四氯化硅还原生产多晶硅，早期以铜丝作热载体，以后用细硅棒作热载体，这种生产工艺一直沿用到今天。上海大学研究成的新工艺用粗硅芯作开切料，多对硅棒一次击穿，简化了操作工艺，节省了大量电气设备。开切成功率由原来的63％提高到近100％，生产率提高30％，生产每公斤多晶硅可节电127度。