新型原子级外延系统研制成功 [复制链接]

第3版(教育·科技·文化)
专栏：科技新成果

　　新型原子级外延系统研制成功
本报讯 国家高技术“八六三”计划项目“快速辐射加热、超低压化学气相淀积方法和系统”日前在南京通过鉴定。
进入９０年代，超晶格、量子阱的研究成为国际光电子研究的“热点”。但要攻克超晶格、量子阱光电子学，首先必须攻克“原子级薄膜生长”这一关键尖端技术。南京大学半导体超晶格实验室面对传统原子级外延设备结构复杂、技术难度大、价格昂贵等困难，立足国情，独立自主，实现了具有自己特色的原子级外延生长，该项成果可广泛应用于半导体薄层、超薄层、异质结构、量子阱和超晶格材料的生长，并可推广应用于其它类型材料的生长。这标志我国在锗硅超晶格生长和器件研究方面，进入了世界先进行列。　　　（王月清　朱林弟）