再次显示我科学实验仪器整体研制能力 分子束外延技术设备核心部件研制成功 [复制链接]

第3版(教育·科技·文化)
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　　再次显示我科学实验仪器整体研制能力
分子束外延技术设备核心部件研制成功
新华社北京五月九日电 （通讯员黄兴章、实习生高长力）我国一项尖端科学实验仪器——分子束外延技术设备的快门、分子束炉等核心部件，日前已由中国科学院物理所研制成功，并远销欧洲。它又一次显示了我国现代科学实验仪器的整体研制能力。
利用这一设备，可以对材料厚度进行精确控制，并且按需要改变材料制备过程中的化学成份及元素种类，从而获得约为头发丝直径三十万分之一的多层超薄膜材料。这种超薄层半导体材料是制备超高速度、超高频的电子器件及其集成电路所必备的。由于这套设备涉及多个高技术领域，目前只有几个国家能够制造。
据悉，“七五”期间，我国运用国产分子束外延技术设备承担了国家“八六三”计划和有关部门的五项重大课题，先后制备了多种结构类型的半导体材料，研制成多种新型半导体元器件，达到了国际上同类产品八十年代末的指标性能。