我首根大直径电路级直拉硅单晶问世 [复制链接]

第3版(教育·科技·文化)
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我首根大直径电路级直拉硅单晶问世
本报讯　记者孟晓云报道：我国第一根直径6英寸、重达32公斤的大直径电路级直拉硅单晶日前在北京有色金属研究总院国家半导体材料工程研究中心拉制成功，它标志着我国半导体硅材料的研制工艺朝大直径、大批量产业化方向发展迈出了关键的一步，并为我国微米及亚微米级超大规模集成电路的研制与发展创造了前提条件。