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贾西平 1998-03-02 00:00

我国超大规模集成电路研制获进展 8英寸硅片生产线建成

第3版(综合)
专栏:

  我国超大规模集成电路研制获进展
  8英寸硅片生产线建成
  本报北京2月28日讯 记者贾西平报道:我国第一条具有自主知识产权的直径200毫米(8英寸)硅单晶抛光片生产线,今天在北京有色金属研究总院半导体材料国家工程研究中心建成投产,这标志着我国超大规模集成电路用硅单晶抛光片的生产已达到国际工业生产先进水平。
  集成电路被誉为电子信息产业的粮食,根据我国国民经济发展的需求,国家决定在“九五”期间实施重大建设项目——909工程。909工程包括上海华虹超大规模集成电路芯片生产线,北京有色金属研究总院8英寸硅片生产线和若干个集成电路设计中心。使用8英寸硅单晶抛光片将大大提高集成电路的生产效率并降低制造成本,现已成为制造64兆位和256兆位集成电路的主流产品。
  北京有色金属研究总院是我国电子信息材料主要的研究开发基地,两年多来他们在攻克了拉晶、抛光工艺等重大技术难题后,建成了8英寸硅单晶抛光片生产线,这对满足我国深亚微米集成电路的需要和我国电子信息产业的发展具有十分重要的意义。卢嘉锡、钱伟长等出席了建成投产仪式。


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