何为深亚微米集成电路

第16版(企业经纬)
专栏：答问释疑

　　何为深亚微米集成电路
本报记者冉永平
最近，有读者来信说，十届全国人大一次会议上通过的国民经济和社会发展计划报告中提到，今后要大力发展“对国民经济发展有深远影响的深亚微米集成电路、数字电视、广播电视直播卫星系统、生物及新医药、现代农业等重大高技术工程”。询问何为深亚微米集成电路？
　　记者从信息产业部了解到，所谓深亚微米集成电路就是指0.25微米及其以下的集成电路。0.8—0.35微米集成电路称为亚微米，0.05微米及其以下称为纳米级。深亚微米制造的关键技术主要包括紫外光刻技术、等离子体刻蚀技术、离子注入技术、同互连技术等。
　　目前我国在技术上已经具备0.18微米集成电路的设计开发、规模生产能力。今年，我国集成电路的产量将达到100亿块。
　　国家对这一产业发展的重点是：以加强集成电路设计为重点，积极支持集成电路设计与整机开发相结合，设计开发市场需求较大的整机产品所需的各种专用集成电路和系统级芯片；积极发展0.25—0.18微米的深亚微米集成电路技术；扩大集成电路生产加工和封装能力，提高工艺技术水平，扩大产品品种和生产规模。