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1981-12-28 00:00
第一台六十万伏高能离子注入机投入使用
第1版()
专栏：
第一台六十万伏高能离子注入机投入使用
据新华社石家庄12月27日电 四机部一四一三研究所研制成功的我国第一台60万伏高能离子注入机，经过一年多的调试，最近由国家有关部门鉴定，认为达到设计要求，已正式投入使用。
60万伏高能离子注入机是半导体器件研制和生产中的复杂设备之一。它对于提高器件的性能和成品率，简化工艺流程和结构形式，都有重要作用。
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