姚美伦 |
1982-11-30 00:00 |
什么叫图形发生器?
第4版() 专栏:资料
什么叫图形发生器? 图形发生器是一种用计算机控制制作半导体大规模集成电路掩膜版的设备。 掩膜版是一种高精度的底版(类似照像底版)。掩膜版上图形、线条是微米级,密度达每平方毫米几千个晶体管,分辨率很高。过去用人工,放大几百倍画图——刻图——照像——粗缩——精缩成1∶1,制成掩膜版。制作周期一般要半年到一年。采用图形发生器,只需给计算机输入图形拐点部分座标,图形发生器即按程序曝光形成图形,几小时后,粗缩掩膜版就制好了,省时、省力、高精度、高密度。 (姚美伦)(原载11月5日《工人日报》) |
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