国产集成电路加工设备有进展

第3版(教育·科技·文化)
专栏：

　　国产集成电路加工设备有进展
本报讯记者叶紫报道：用于大规模集成电路加工的关键设备之一——电阻网络和芯片冗余激光修正仪，由机电部第十一研究所研制成功。这种国产设备达到国际８０年代中期水平，它的研制成功对我国微电子工业独立自主地发展具有重要意义。
这套集成电路加工设备主要用于对薄膜电阻的微调和芯片修正，在加工过程中可不断测量电阻阻值，并由计算机控制加工过程，激光刻槽宽度达到４微米以下，相当于一根头发丝的１／２０。