| 刘军 |
1993-07-26 00:00 |
我国微分析中心屡获重要成果已为十家单位分析三百只样品
第3版(教育·科技·文化)
专栏：
我国微分析中心屡获重要成果
已为十家单位分析三百只样品
据新华社上海电（记者刘军）坐落在复旦大学校园内的“国家微电子材料和元器件微分析中心”，是我国“八五”期间重点投资的建设项目。两年来，这个中心为微电子产业服务，在工艺分析和器件剖析领域获重要阶段性成果，取得良好的社会和经济效益。
发展微分析技术的研究及应用对我国微电子产业跻身于世界先进行列有着至关重要的作用。这个中心工艺分析组根据微电子生产的实际需要，将工艺与分析有机结合起来，广泛开展工艺分析服务，仅在半年多时间里，就为江苏、浙江、上海等地的十家单位分析了３００只样品，为有关企业改进工艺、提高产品质量和成品率发挥了重要作用。
上无２９厂曾与美国公司签订引进３８万美元的全套工艺技术合同，后因故合同终止，去年国家微分析中心与其签订了合作协议，很快就为他们完成了ＳＥＭＴＥＸ工艺的主要设备和水、气、净化等外围条件的调试和分析，并在生产线上进行了产品试流片，成品率和质量均达到合同要求。今年起，国家微分析中心工艺分析组开始进行进一步优化该项目关键工艺的研究，目前硅片精密减薄及背面多属金属化两项已完成并通过专家评审，整个工作完成后将获得近２００万元的直接经济效益。 |
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