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金刚石薄膜开发获重大进展 [复制链接]

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只看楼主 倒序阅读 0 发表于: 2001-02-23
第6版(教育·科技·文化·体育)
专栏:

  金刚石薄膜开发获重大进展
本报讯 由中威高科技有限公司研制成功的金刚石膜装置及产品,日前通过鉴定。专家认为,这是我国在新材料开发领域的新突破。
  金刚石膜具有极其优异的物理和化学性能,如高硬度、低磨擦系数、高弹性模量、高热导、高绝缘、宽能隙和载流子的高迁移率以及这些优异性能的组合,在各个工业领域有广泛的应用前景。
  中威公司在金刚石薄膜的应用产品开发上取得重大进展。他们开发出超硬合金刀具,解决了有色金属、玻璃纤维、碳纤维、超硬合金以及硬质合金等超难加工材料的切削加工问题,对纺织品进行改性处理研究取得成功,研制生产出等离子体刻蚀机,刻蚀线宽小于0.2微米,为我国深亚微米集成电路的设计制造打下了基础。 (华 讯)
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