分子束外延设备研制成功 [复制链接]

第3版()
专栏：科技新成果

分子束外延设备研制成功
我国第一台造型美观、性能良好的分子束外延设备在沈阳研制成功。最近经有关部门鉴定，主要性能接近或达到了国外同类设备的水平，开始投入小批量生产。分子束外延技术是七十年代国际上迅速发展起来的一项新技术。分子束外延设备是在超高真空条件下，外延生长半导体单晶薄膜，并利用各种分析仪器原位进行监测分析的综合性设备。这台设备的试制成功，将为我国研究晶体生长动力学、开展固体表面研究及发展新材料、新器件提供必要的实验手段。
这台综合性强、难度大，涉及超高真空、电子光学、电子能谱、微弱讯号检测及精密机械加工等现代技术的大型精密仪器，是由中国科学院物理研究所、空间研究院兰州物理所、中国科学院沈阳科学仪器厂、中国科学院科学仪器厂共同协作研制的。　（均据新华社）